​在真空电镀加工过程中发现异常时，需要采取一系列措施来诊断问题、分析原因，并制定相应的解决方案。以下是一些常见的异常情况及其解决方法：

一、真空度异常
异常现象：真空室内真空度无法达到设定值或突然下降。
解决方法：

检查真空系统：确认真空泵、阀门、管道等是否正常运行，无泄漏或堵塞现象。
清洁真空室：定期清洁真空室内壁、送铝蒸镀装置、冷却系统等，以减少杂质对真空度的影响。
检查密封性：对真空室的密封面进行目视检验，及时更换损坏的密封条或进行补焊精抛光处理。

二、镀膜质量异常
异常现象：

镀膜表面出现褐色条纹、孔洞、拉伸现象等。
镀膜强度不足，易脱落或磨损。
解决方法：

调整工艺参数：根据镀膜材料的特性和工艺要求，调整蒸发舟电流、送铝速度、基材温度等参数。
优化前处理：加强基材的脱脂、去污和干燥处理，确保基材表面干净无杂质。
改善真空环境：提高真空度，减少环境湿度和杂质对镀膜质量的影响。
选用优质膜料：选择杂质少、稳定性好的膜料，并进行充分预熔和去潮处理。

三、设备故障
异常现象：

蒸发舟老化或损坏。
机械手故障导致换刀不顺畅。
解决方法：

更换故障部件：及时更换老化或损坏的蒸发舟、机械手等部件。
加强设备维护：定期对设备进行保养和检查，确保各部件处于良好状态。

四、操作不当
异常现象：

操作人员未按照规程操作导致事故。
程序设置错误导致加工异常。
解决方法：

加强培训：对操作人员进行专业培训，确保其熟悉操作规程和注意事项。
程序校验：在加工前对程序进行校验和模拟运行，确保程序设置正确无误。

五、综合措施
建立监测体系：在真空电镀加工过程中建立实时监测体系，对关键参数进行实时监控和记录。
制定应急预案：针对可能出现的异常情况制定应急预案，以便在发生异常时能够迅速响应和处理。
持续改进：通过不断总结经验教训和技术创新，持续改进真空电镀加工工艺和设备性能，提高加工质量和效率。